近日，北京科学技术奖励大会正式召开，212项成果荣获北京市科学技术奖。北京京仪自动化装备技术有限公司（以下简称“京仪装备”）研发的“半导体生产线专用温控系统关键技术研发及应用” 获得北京科学技术奖三等奖。
据北京市科学技术委员会网站显示，该成果属于动力与电气工程领域，成果为打破国外对半导体工艺制程的高精度温控设备的垄断，自主研发了半导体生产线专用温控设备Chiller。
据悉，在温控设备领域国内市场基本依赖进口，京仪装备立项目的在于打破国际市场的垄断。京仪装备半导体生产线专用温控设备Chiller是一款适用于半导体生产线的设备，能够不间断的提供温度可控的循环液，保障半导体工厂中刻蚀等工艺的设备腔室所需的工艺加工温度，满足温度变化范围大，负载瞬间变化，设定温度随时改变等工况要求，能够达到±0.2~0.5℃的温度精度，提高晶圆生产的良率。在 28nm 以下 Diff、Etch、CVD、PVD、WAT、Litho 等工艺流程中都对温控有不同的需求，均需要用到 Chiller 来控制反应温度，为满足半导体生产线的严格要求，适应半导体生产制程的不断变化，对 Chiller 进行研究开发。
京仪装备是一家集研发、生产和销售为一体的高端装备制造企业，主要产品包括半导体温控装置系列（Chiller）、机器人系列（Wafer Sorter/AMR）、废气处理装置系列（Local Scrubber）等专用设备，现已广泛应用于半导体、LED、LCD等领域。
据北京商报报道，京仪装备半导体专用温控装置主要应用在半导体领域，目前在12英寸生产线上的市场覆盖率高达80%。
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